多年来，国产芯片发展一直备受瞩目，然而在制程技术、晶圆制备等瓶颈上，我们始终与国外厂商形成巨大的差距。近日，国内生产芯片的龙头企业之一——复旦微电子，通过不懈努力，成功研发出了一款支持双孔位多工位刻蚀的制备设备，从而开创了国产芯片双孔位时代。
此次成功研发出的装备具有高效稳定、集成度高等特点，不仅可以满足航空航天、国防科技等多个领域对微电子器件的严苛要求，还能进一步拓宽国产芯片应用范围，助力我国芯片产业的腾飞。
据介绍，该制备设备不仅解决了单个钨刻蚀和在氩气和氧气等不同气氛下交替开刻两个孔位的制程问题，而且还有效降低了器件布局复杂度和切换位置精度要求，从而为国产芯片的研制、生产提供了有力支撑。
可以说，复旦微电子的创新成果不仅是国产芯片领域的一次重大突破，也显示出我国在微电子领域的技术实力及创新能力逐渐被国际市场所认可。
未来，复旦微电子也将不忘初心，继续发扬自主创新精神，以科技力量推动中国制造高质量发展。
